更新時間:2024-12-05
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一、ALICAT耐腐蝕氣體質量流量控制器產品優勢
操作簡單
Alicat 質量流量計&質量流量控制器操作極其簡單,用戶可通過多功能數字顯示屏調節參數,無需連接電腦或其它任何復雜的編程軟件。
精確控制
Alicat 標準型質量流量計&質量流量控制器的精度為±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.),幾乎所有型號通過增加高精選配項可達±(0.4% Rdg + 0.2% F.S.)。
高性價比
Alicat 質量流量計&質量流量控制器本身耗電極小,從而降低了系統運營的成本,且相比于同類產品,其壓損較低,降低壓損意味著更多氣體進入到系統中,而不是停留在測量&控制設備中。除質量流量外,Alicat 質量流量計&質量流量控制器還可同時測量體積流量、壓力和溫度,您無需另外采購和安裝其它設備。使用累加器(TOT)功能可顯示流經氣體總量,是監控整個應用過程及減少氣體浪費的有效的方法。MCS系列的模塊化設計使其成為真空應用的佳選擇。
性能
MS/MCS系列質量流量計&質量流量控制器可測量與控制從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量,除了RS-232數字信號輸出,還配有多種模擬信號輸出。MS系列質量流量計亦有便攜式型號(MBS系列),采用一塊普通9伏電池供電,即成為一款適用于腐蝕性氣體的二等標準流量校準設備。
反應靈敏
與相應標準型M/MC系列相同,MS/MCS系列質量流量計&質量流量控制器(防腐蝕型)其測量響應小于10毫秒、控制響應為100毫秒。
高重復性
Alicat 的技術使得質量流量計&質量流量控制器幾乎沒有可移動部件,所有零件都被內置固定,腔體內不存在物理變化,從而具有較高的*性和重復性。所有Alicat 質量流量計&質量流量控制器的重復性可達±0.2% F.S。
值得信賴
現有超過90000臺Alicat設備正被使用在不同領域中,質量流量控制器主要應用于醫藥、半導體、燃料電池、如:科學研究、泄漏測試、環境監測、 真空鍍膜、半導體、汽車制造、光伏、燃料電池、光纖制造、計量以及過程工藝氣體測量&控制等。所有Alicat 設備均具有NIST可溯源校準證書。
二、ALICAT耐腐蝕氣體質量流量控制器標準性能
三、ALICAT耐腐蝕氣體質量流量控制器性能參數
指標 | ALICAT耐腐蝕氣體質量流量控制器 |
量程 | 0.5SCCM,1SCCM,2SCCM,5SCCM,10SCCM,50SCCM,100SCCM....1500SLPM,2000SLPM,3000SLPM |
精度 | ±0.8%讀數±0.2%滿量程(可選高精度:±0.4%讀數±0.2%滿量程) |
重復性 | ±0.2% |
量程比 | 200:1 |
響應時間 | 100ms |
標準狀態(STP) | 25℃&14.696PSIA (101.325kPa) |
溫度范圍 | -10~50 |
零點漂移 | 0.02% |
量程漂移 | 0.02% |
濕度范圍 | 0-100% |
測量流量范圍 | 128%(過流率) |
大耐壓 | 145psi |
輸出信號(數字) | 質量流量、體積流量、壓力和溫度 |
數字信號可選 | RS485,Modbus,Profibus |
輸出信號(模擬) | 質量流量、體積流量、壓力和溫度 |
模擬信號可選 | 0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC,4-20mA |
電氣連接 | 8針/9針/15針(根據不同類型流量計而定) |
供電電壓 | 7-30VDC(4-20mA輸出時為:15-30VDC) |
供電電流 | 0.035A(4-20mA輸出時為:0.055A) |