流量校準設備

流量校準設備產品概述

• 原理：層流原理
• 流量校準范圍：1SCCM-5000SLPM
• 該流量校準系統流程：氣瓶-減壓閥-穩壓閥-截止閥-標準流量測量元件（molbloc）-被校準對象-流量測量主機（molbox）。
• 校準對象：質量流量計、質量流量控制器、轉子流量計等
• 校準精度：0.5%，0.2%和0.125%可選

流量校準設備測量元件介紹

型號：molbloc-L&molbloc-S

molbloc 流量元件通過兩個壓力連接件和一根數據線連接到 molbox RFM 上。molbox RFM 從 molbloc EEPROM 讀取校準數據，并利用其內置的高精度參考壓力傳感器 (RPT) 測量 molbloc 的上游壓力和下游壓力。歐姆測量系統讀取 molbloc 鉑電阻測溫儀的電阻，然后由此計算 molbloc 溫度。利用存儲在 molbox RFM 內存中的 molbloc 校準數據、壓力、溫度和氣體屬性，可計算出通過 molbloc 的氣流流速。對于 molbloc-L 流量元件，在流量量程 10% FS 以下時，可以選擇微量程選項來提高流量測量分辨度和精確度。

特點

·         結構緊湊

·         molbloc-L 覆蓋的流量量程從 1 sccm 到 100 slm，而 molbloc-S 覆蓋的流量上限更是達到了 5000 slm

·         從 20 種不同的氣體中選擇

·         利用 100:1 可調性實現認證的測量不確定度 ±0.5% 讀數（連接molbox RFM）

·         內部閥門，可實現內置的清洗、泄漏測試和自重支持

·         包括求和、取平均值、高值/低值及偏差等高級測量函數

·         完善的前面板控制以及 RS232 和 IEEE-488 遠程通信

·         利用可由用戶設置的參考壓力和溫度狀態，測量質量和體積流量

測量主機介紹

功能：可以用來控制質量流量控制器，設定氣體種類，轉換系數，顯示流量測量元件的流量值，可連接PC，實現全自動化流量校準功能。

主要型號：molbox RFM，molbox 1，molbox 1 （molbox1升級版）

精度：molbox RFM：0.5%讀數，molbox1，0.2%讀數，可選0.125%讀數

的不確定度參數

molbox1 的創新性讓 molbloc/ molbox1 系統實現了行業內極低的氣流測量不確定度。多個關鍵點的改善讓更低的不確定度成為可能，包括：

·         使用福祿克計量校準部專有的石英參考級壓力傳感器 (Q-RPT) 技術來精確測量絕壓和差壓。molbox1 Q-RPT 是根據福祿克計量的校準部壓力傳輸標準在相同技術下專門定做的傳感器。

·         高級 molbloc 校準作業能夠使 molbloc 流量輸出線性化，從而更好地獲取準確度和可溯源性。

·         擴展 molbloc 模式化可提高 molbloc-L 層流元件在工作壓力量程內的性能。

·         利用 NIST 參考液體熱動力與輸送屬性數據庫 (REFPROP) 來降低氣體屬性的不確定度。

·         使用福祿克計量校準部的動態重力流量標準來進行基礎質量與時間質量流量測量，并以此基礎不斷改善福祿克計量校準部的 molbloc 校準鏈。